日本日立5500M全自动型原子力AFM5500M显微镜
日本日立5500M全自动型原子力显微镜

1. 自动化功能
高度集成自动化功能追求高效率检测
降低检测中的人为操作误差

特点

1. 自动化功能

• 高度集成自动化功能追求高效率检测

• 降低检测中的人为操作误差

4英寸自动马达台

自动更换悬臂功能

2. 可靠性

排除机械原因造成的误差

• 大范围水平扫描
  采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。
  AFM5500M搭载了最新研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。

• 高精角度测量
  普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。
  AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk） ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。

*使用AFM5100N（开环控制）时

3. 融合性

亲密融合其他检测分析方式

通过SEM－AFM的共享坐标样品台，可实现在同一视野快速的观察・分析样品的表面形貌，结构，成分，物理特性等。

SEM-AFM在同一视野观察实例（样品：石墨烯/SiO2）

上图是AFM5500M拍摄的形状像（AFM像）和电位像（KFM像）分别和SEM图像叠加的应用数据。

• 通过分析AFM图像可以判断，SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。

• 石墨烯层数不同导致表面电位（功函数）的反差。

• SEM图像对比度不同，可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。