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玉崎科学半导体设备理学Rigaku光学工具
简要描述:

玉崎科学ONYX 3200半导体设备理学Rigaku光学工具
玉崎科学半导体设备理学Rigaku光学工具

内联双头微点 XRF
无损晶圆检测和计量

双 X 射线源(多毛细管/单色),

适用于最大 300 mm 的晶圆

  • 产品型号:ONYX 3200
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-29
  • 访  问  量:96

详细介绍

玉崎科学半导体设备理学Rigaku光学工具

玉崎科学半导体设备理学Rigaku光学工具


ONYX 3200 概述

ONYX 3200 是市场上先进的混合测量解决方案。这款第二代双头工具结合了先进的 μXRF 和光学技术,可在在线半导体制造中提供高精度的缺陷检测和最高的吞吐量。

ONYX 系列系统旨在在从 FEOL 到 WLP 的整个制造过程中提供全面的计量方法。这包括适合先进封装和单凸点应用的配置,并允许监控 Ag/Sn 比率。

优化源性能

  • 用于过程监控的单μbump测量

  • 高产量和增加的吞吐量

  • 准确分析金属厚度和成分

  • 对层厚度和成分的最大敏感性

二维显微镜
二维显微镜放大倍数
 3D扫描仪

玉崎科学半导体设备理学Rigaku光学工具

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ONYX 3200 特点

双头 μXRF 配置提供分析灵活性,实现最佳应用性能
单色和多色 μXRF 光学系统
低功率X射线,无损分析
聚焦垂直激励配置
通过排列四个硅漂移探测器(SDD)扩大有效面积并提高分辨率
成分分析和膜厚测量
全自动校准过程提供长期稳定性、一致性和X射线管老化校正
实现亚微米精度的先进运动平台
内联 HVM 测量的理想选择

ONYX 3200 规格

测量类型双头微点 EDXRF 和光学检测 (2D-3D)
晶圆尺寸最大300mm
晶圆类型毯子和图案晶圆
导航精密平台辅以图像识别算法
,可快速亚微米导航至单个特征中心
微型 XRF 光束方向正入射微点 (μXRF)
光学系统“多色"(X 射线光学)和颜色“单色"(X 射线光学)
微型 XRF 束斑尺寸可调范围为 10 至 50 µm
探测器类型硅漂移探测器 (SDD):3 种配置
1. 常规 > Al
2. 轻元素:C、N、O、F、S
3. 重元素:> Ge(针对 Ag、Sn 进行了优化)
DPP|数字脉冲处理器超过 100 万光子/秒的高效率



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