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玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度
简要描述:

玉崎科学XTRAIA XD-3300半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度
玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度

在线 HRXRD/XRR 测量工具

  • 产品型号:XTRAIA XD-3300
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-29
  • 访  问  量:86

详细介绍

玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度

玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度


毯式晶圆和图案晶圆的高分辨率 XRD 外延膜表征

XTRAIA XD-3300 是一款多功能  射线计量工具,可在大批量生产中以高通量对毯式和图案化 300 mm 和 200 mm 晶圆上的单层和多层薄膜进行无损分析。

测量结果包括通过  射线反射率 (XRR) 测量的膜厚度、密度和粗糙度,以及通过高分辨率 XRD (HRXRD) 测量的外延膜厚度、成分、应变、晶格弛豫和结晶度。


XTRAIA XD-3300 概述

它支持多种应用,包括在线 XRD/XRR 多层堆叠、金属薄膜、压电薄膜、SiGe 和化合物半导体薄膜的厚度和成分分析。您可以根据您的应用选择最佳的设备配置。

XRD 和 XRR 分析有可能通过内联实现自动化。


XTRAIA XD-3300 特点

用于高效处理的内联功能
用于灵活样品定位的载物台和测角仪
利用光束尺寸高达 40 μm 的高分辨率 X 射线束
全自动化功能,实现高效运营
兼容 200 毫米和 300 毫米晶圆
配备2D探测器,精确采集数据
通过*的分析软件支持全面的数据解释

XTRAIA XD-3300 规格

方法高分辨率X射线衍射(HRXRD)、射线反射率(XRR)
目的用于毯状/图案外延薄膜的
双光束(线和 40μm 微点)
图案识别
X射线源1:9 kW 铜旋转阳极阴极或 2.2 kW 铜封装管
2:COLORS™ 混合铜梁模块,用于测量图案化晶圆
主要部件整体和图案晶圆测量
射线光学器件:最多 2 个单色仪 Ge(400) x 2、Ge(220) x 2、Ge(220) x 4
射线探测器:2D (HyPix-3000)
微光斑尺寸、图案识别、高强度、chi轴
高精度测角仪
特征具有高强度旋转反阴极和微点束的
COLORS™ 混合铜束模块
选项单色仪、各种光学组件
GEM300 软件、E84/OHT 支持
机身尺寸1656(宽)×3689(深)×2289(高)毫米
测量结果HRXRD、XRR、摇摆曲线和倒晶格图 (RSM)


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