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详细介绍
玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度
玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度
XTRAIA XD-3300 是一款多功能 射线计量工具,可在大批量生产中以高通量对毯式和图案化 300 mm 和 200 mm 晶圆上的单层和多层薄膜进行无损分析。
测量结果包括通过 射线反射率 (XRR) 测量的膜厚度、密度和粗糙度,以及通过高分辨率 XRD (HRXRD) 测量的外延膜厚度、成分、应变、晶格弛豫和结晶度。
它支持多种应用,包括在线 XRD/XRR 多层堆叠、金属薄膜、压电薄膜、SiGe 和化合物半导体薄膜的厚度和成分分析。您可以根据您的应用选择最佳的设备配置。
XRD 和 XRR 分析有可能通过内联实现自动化。
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