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详细介绍
玉崎科学半导体设备理学Rigaku高精度测角仪
玉崎科学半导体设备理学Rigaku高精度测角仪
该形貌测量系统通过采用新型高亮度微型射线光源、特殊的射线镜面光学系统以及高分辨率、高分辨率的X射线相机，可以将测量时间缩短一个数量级与传统方法相比。从样品设置到测量的一切都可以自动完成。
它可以无损检测晶体缺陷，例如位错、表面穿透位错以及外延层缺陷。适用于Si、SiC、GaN、Ge、GaAs、石英、LN、LT、蓝宝石、金红石、萤石等各种单晶材料。
用于透射形貌图的Mo射线源和用于反射形貌图的Cu射线源可以通过计算机控制进行切换。
使用多层膜平行光束准直器生成单色/平行光束。
高度平行的 X 射线束使我们能够获得对晶格畸变敏感的反射形貌。
您可以通过计算机轻松地在观察晶体内部的透射形貌图和观察表面附近缺陷的反射形貌图之间进行切换。
使用高分辨率 X 射线 CCD 相机采集数字图像。
使用形貌图像的晶体缺陷分析软件。
兼容各种晶圆尺寸。兼容 3、4、6、8、12 和 18 英寸。
它可以水平放置样品，还可以自动传输 3、4、6、8 和 12 英寸晶圆。
自动曲率校正机制甚至可以根据曲率程度拍摄弯曲的晶体。
| 产品名称 | XRT微米 | |
|---|---|---|
| 方法 | 射线形貌成像 | |
| 目的 | 单晶材料的无损评价 | |
| 技术 | 在透射和反射形貌之间切换 | |
| 主要部件 | 高亮度微型X射线光源、专用X射线镜光学系统、高分辨率/高分辨率X射线相机 | |
| 选项 | HR-XTOP 相机、晶体准直器、传送带、晶体缺陷软件 | |
| 控制（电脑） | 外部 PC、MS Windows® 操作系统 | |
| 机身尺寸 | 1800（宽）×1980（高）×1950（深）（毫米） | |
| 大量的 | 约2200公斤（本体） | |
| 电源要求 | 三相200V，15A | |
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