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日本ULVAC爱发科半导体卧式真空热处理炉
日本ULVAC爱发科半导体卧式真空热处理炉
可广泛用于各种金属零件的淬火、回火、烧结、钎焊、退火等真空热处理。采用叉式运输方式，实现了两室或三室结构的多室炉。
最高温度为1350℃，可在800至1150℃的常规温度下使用。
热均匀性保证在 1150°C ± 5°C 范围内。
加热室始终保持真空，从而能够以良好的再现性进行高质量的热处理。
通过使用载气法，可以进行抑制金属蒸发的处理。
冷却时，加热室不被冷却，节省电能。
加热室结构始终处于真空状态，因此不氧化，磨损少，寿命长。
加热室采用水冷夹套结构，阻隔内部热量，保持工作环境清洁。
调质处理：各种机械零件、模具
烧结处理：硬质合金工具、磁铁
钎焊处理：热交换器、机械零件
| 规格/型号 | 45 | 60 | 75 | 90 | 120 | 评论 | |||
| 表现 | 尺寸 | 均匀加热尺寸 [mm] | 宽度 | 450 | 600 | 750 | 900 | 1200 | |
| 长度 | 第675章 | 900 | 1125 | 1350 | 1800 | ||||
| 高度 | 300 | 400 | 500 | 600 | 800 | ||||
| 最大处理能力[公斤] | 200 | 400 | 650 | 1000 | 2000年 | 包括托盘重量 | |||
| 温度 | 最高温度 | 1350℃ | |||||||
| 常用温度 | 800~1150℃ | ||||||||
| 温度均匀 | 1150℃±5℃以内 （符合AMS等标准） | 在空炉中测量 5 个点 | |||||||
| 冷却 | 气体冷却 | 93kPa | 30分钟内 | 插入标准样品时从 1150°C 到 150°C | |||||
| 290千帕 | 20分钟内 | ||||||||
| 至油冷却的运输时间 | 12秒 | 15秒 | 20秒 | 从加热室到注油 | |||||
| 真空 | 极限压力 | 10 -1 Pa 级 （高真空10 -3 Pa 级可选） | 空炉脱气后的值 | ||||||
| 常压 | 133～13Pa | ||||||||
| 排气时间 | 10分钟内 | 15分钟内 | 空气炉内压力从大气压到6.5Pa | ||||||
| 泄漏量 [Pa･m3 / S] | 3× 10-4 | 4×10 -4 | 4×10 -4 | 5× 10-4 | 由于压力增加 | ||||
| 使用规格 | 所需电量 [kVA] | 生长激素* | 65 | 101 | 161 | 209 | 303 | AC 200/220V（90种以上为400/440V）50/60Hz 3Φ | |
| G/LH* | 73 | 110 | 187 | - | 第354章 | ||||
| PHG* | 70 | 109 | 175 | 228 | 第333章 | ||||
| GHL* | 85 | 130 | 223 | - | - | 表示平均用电量 | |||
| 所需冷却水量 [m 3 /hr] | 生长激素* | 3 | 5 | 7 | 9 | 16 | 压力0.25MPa *如果配备油扩散泵，则为 25°C 或更低 | ||
| G/LH* | 3 | 4 | 5 | - | - | ||||
| PHG* | 4 | 5 | 8 | 11 | 18 | ||||
| GHL* | 4 | 6 | 9 | 11 | 18 | ||||
| 压缩空气量[Nm 3 /min] | 有些 | 0.7兆帕 | |||||||
| 载气量[L/min] | 1.5 | 2 | 3 | 4.5 | 6 | 氮气（ NTP ） | |||
| 冷却气体量[m 3 /次] | 2.7 | 4.5 | 6 | 10 | 18 | 氮气（ NTP ） | |||
| 冷却油量[m 3 ] | 1.8 | 3.6 | 6 | 9 | ── | ||||
| 冷却油加热器 [kW] | 15 | 24 | 48 | 72 | ── | ||||
| 安装尺寸[米] | 2 间客房 | 3.4×5.7 | 3.9×7.4 | 4.6×8.7 | 5.5×9 | 7×12.5 | 宽×长 | ||
| 3 间客房 | 3.4×8.1 | 3.7×9.4 | 4.6×10.6 | 5.5×12 | 7×17 | ||||
| G型PHG | 3.5×0.5 | 3.9×0.5 | 5×0.5 | 5.5×0.5 | 6.5×0.5 | 高×深 | |||
| L型GHL | 3.5×1.0 | 4×1.4 | 5×1.5 | 5.5×1.8 | 6.5×2.4 | ||||
* 炉型：P=准备室、H=加热室、G=气冷室、L=油冷室
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