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日本ULVAC爱发科半导体真空诱导溶解炉
日本ULVAC爱发科半导体真空诱导溶解炉
自1957年制造第一台机器以来，我们已向国内外交付了200多台设备，为特殊钢、电子材料、新材料等广泛行业做出了贡献。我们开发了使用低温板的高真空脱气精炼和使用单向搅拌系统的多元合金化等新技术。我们还可以提供稀土磁体生产的设备线和生产技术。
可以添加和控制大量的活性金属。
铸锭的洁净度极其优良。
单向搅拌系统提供了出色的成分均匀性。
加热速度快，操作性优良。
铸造方法可选择铸锭或薄带。
铁基合金：机械和设备（滚刀、小齿轮、刀齿）、模具、轴承钢
稀土金属：磁铁（Nd-Fe-B、Sm-Co）
钛合金：形状记忆合金、储氢合金
贵金属：键合线、金、铂、热电偶、电接触材料、牙科产品、装饰品
镍基合金：耐热钢、耐腐蚀材料、电气元件材料、坡莫合金
Al：键合线、引线框架、溅射靶材
Cu：电接触材料、引线框架
Cr:溅射靶材
| 模型 | Magcaster-600C（III型） | FMI-600RC-2(Ⅱ型) | FMI-600RC(Ⅰ型) | 评论 | |
| 溶解方式 | 诱导加热 | ||||
| 冷却方式 | 水冷辊 冷却滚筒 收集容器 | 水冷卷筒 收集容器 | 水冷辊 冷却盘 | ||
| 溶解量[kg/装料] | 600 | 铁当量（最大溶解量） | |||
| 溶解温度 | 常用温度 [℃] | ～1450 | |||
| 溶解时间[min] | 60以内 | 从通电到熔化 | |||
| 压力 | 排气时间[分钟] | 20以内 | 从大气压到10Pa，无需插入炉系统 | ||
| 极限压力 [Pa] | 2.0以下 | 未插入熔炉系统 | |||
| 工作压力 [kPa] | 最多30个（收集容器为80个） | 最大80 | |||
| 泄漏量 [Pam 3 /秒] | 3.0×10 -3 | 未插入熔炉系统 | |||
| 溶解电源 | 频率 [kHz] | 0.5～0.8 | |||
| 电力[kW] | 600 | ||||
| 腔体材质 | 主要是SS400 | ||||
| 安装尺寸 | 幅 [m] | 14.0 | 12.0 | 11.0 | 不包括维修空间 |
| 深度 [米] | 15.0 | 15.0 | 12.0 | ||
| 高度[米] | 8.0 | 8.0 | 8.0 | ||
| 坑 | 幅 [m] | 2.5 | 2.5 | 4.0 | 不含接线坑 |
| 深度 [米] | 10.0 | 10.0 | 3.5 | ||
| 深度 [米] | 4.0 | 3.6 | 1.5 | ||
| 溶解电力量（溶解电源） | 电压[伏] | 380 | |||
| 相数 [Φ] | 3 | ||||
| 周波数 [Hz] | 50 | ||||
| 电力[kVA] | 720 | ||||
| 溶解电力量（操作・动力） | 电压[伏] | 380 | |||
| 相数 [Φ] | 3 | ||||
| 周波数 [Hz] | 50 | ||||
| 电力[kVA] | 125 | 120 | 100 | ||
| 冷却水 [m3/hr] | 约63 | 约71 | 约93 | ||
| 压缩空气 [MPaG] | 0.5 | ||||
| 惰性气体 | Ar气[m 3 /次] | 14 | 10 | 20 | |
| 氮气[升/分钟] | １～2 | ||||
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