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详细介绍
原装HORIBA堀场玉科供应碳传感器电导率仪
原装HORIBA堀场玉科供应碳传感器电导率仪
非常适合半导体湿法工艺中的化学测量。该装置测量电导率，非常适合用于管理过程中的浓度、管理化学稀释以及监测超纯水的回收情况。
传感器具有优异的耐化学性和耐压性
通过采用特殊电极，它非常适合测量化学处理后 DIW（去离子水）冲洗液的电导率以及循环管路中的测量。
无金属污染
由于使用特殊的碳材料作为电极，因此无需担心金属污染。
丰富的温度补偿功能
可以根据超纯水的温度特性（参考温度 25°C）、NaCl 温度特性和参考温度下的温度补偿系数进行选择。这允许根据被测液体进行温度补偿。
| 传感器 | ESH-01-L-GC5 （电芯常数 ： 0.1/cm） | ESH-1-L-GC9 （电导池常数 ： 1/cm） | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 传导率 | 0.00 至 20.00 μS/cm | 0.0 至 200.0 μS/cm | 0.0 至 200.0 μS/cm | 0 至 2000 μS/cm | *1 |
| 20.00 至 70.00 μS/cm | 200.0 至 999.9 μS/cm | 200.0 至 700.0μS/cm | 2000 至 9999 μS/cm | *2 | |
| 重复性 | *1 在满量程的 +/- 0.5% 以内 *2 在满量程的 +/- 1.0% 以内 | ||||
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